激光位移传感器要实现高精度测量，需要采取一系列措施和方法，具体如下：
选用合适的测量范围：激光位移传感器的测量精度与测量范围有直接关系。如果测量范围过小，会使激光器在工作过程中难以调整，还会造成与被测物体过近等一系列问题。因此，在选择传感器时，应根据被测物体的距离和精度进行匹配，选择较合适的测量范围。
三角测量法：该方法利用可见红色激光通过透镜射到被测物体表面，被物体反射的激光通过接收透镜，被内部的CCD线阵相机接收。根据不同的距离，CCD线阵相机能够从不同的角度进行操作。从不同的角度和已知的激光和相机之间的距离，数字信号处理器可以计算出传感器和被测物体之间的距离。这种方法的最高线性度可以达到1um，分辨率可以达到0.1um的水平。
回波分析法：这种方法主要适用于远距离测量，但测量精度低于三角测量法。在回波分析法中，激光器发出激光脉冲，碰到目标后返回，检测返回脉冲的时间，从而计算出目标物体的距离。但这种方法在远距离测量时精度会降低。
相位式激光测距：这种方法是用无线电波段的频率对激光束进行幅度调制并测定调制光往返测线一次所产生的相位延迟，再根据调制光的波长换算此相位延迟所代表的距离。即用间接方法测定出光经往返测线所需的时间。
注意事项：在安装使用过程中，应保证传感器与被测物体接触良好，防止震动或碰撞。同时要保持传感器清洁，防止污垢或尘埃影响测量精度。另外，应定期对传感器进行校准和维护，以保证其测量精度和使用寿命。
以上措施和方法仅供参考，建议咨询专业技术人士获取准确信息。
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